第334章 研发光刻机光头
光纤研究肯定不是很容易的,总工拉坏了几十公斤玻璃,都让刘光福加工成了装饰品。
刘光福看见一时半刻的事,就带着几十块基板先回去了,
顺便到西单门口,把发光的光纤花束,标价十块钱一束,开始售卖。
四九城还没见过这么绚丽的装饰品,立刻被抢购一空。
刘光福把这些卖了五千块钱,又叫沙市玻璃厂再赶制一批送来。
现在基板有了,刘光福来到位于沪市的中科院光学精密机械研究所。
刘光福提供给他们三台最新型的四轴数控机床,并且承包科研经费,请该所为自己研究新一代的激光直刻机。
此外,还和沙市玻璃厂一起,共同研究光纤用激光发射元件,以实现光纤通讯。
有了能刻印掩膜的激光直刻机,就在此基础上,研究刻印芯片的光刻机。
这两种机器虽然不同,但显然可以利用很大一部分相同部件,不用完全重新研发。
其实这些技术,只要拥有全产业链,加上精密机床,完全可以做到。
只是由于外国封锁了精密机床,导致光学研究所的激光直刻机精度不足。
经过两个月设计研究,一台新的激光直刻机很快完工,经测试,精度达到了0.2微米,完全符合386基板的需求。
顺便说一下,同样是机床,光刻机天生就比其他数控机床精度高,这并不奇怪,因为哪怕最高档的数控机床,在刀头上也是金属的,在高速切割时会有温度变形,即便用的是硬度最高的金刚石钻头,也不可能不出现微米级别的误差,这是刀头性质决定的,怎么补偿也还是有。
而激光刀就不同了,在可以数控补偿误差的条件下,基本上可以等同于定位误差。
至于光刻头的镜头玻璃,刘光福已经去过四九城玻璃厂,让他们开始研究,争取做到纯度最高。
刘光福拿着这玻璃,带着光刻机的研究人员,去国内最好的海鸥相机厂。
虽无球差校正眼,但怀扫描透射心!
刘光福看到,镜片制造的第一步是粗略地磨出镜片的曲线。每个镜头毛坯都连接到一个柱塞上,该柱塞将其引导到一台机器中。
在该机器中玻璃被研磨成适合镜头的正确曲线、
这一步,只是为了为镜片创建正确的形状,因此完成后它仍然显得有些不透明。
然后,工人进行更精细的精密研磨步骤,使镜片具有清晰、光滑的表面。
刘光福知道,外国工厂会在玻璃制造过程中使用三四百台机器,以确保其曲线正确。
现在海鸥厂当然还没那么高的水平。
镜片研磨后是抛光。将镜片放入机器中,聚氨酯垫安装在模具中,与镜片的最终形状或曲线相匹配。
它们使用特殊的抛光膏研磨镜片,不到十分钟,镜片就研磨好了。
刘光福看了一遍过程,觉得对于相机镜头可能够了,但不如自己了解的光刻机镜头过程更精细。
除了光源外,光刻机的物镜也决定了光刻机能使用的波长,波长越小约精细,所谓几纳米制程,其实就是波长,也就是相邻晶体管的距离。
相邻晶体管距离越小,一块芯片集成的晶体管就越多,速度也就越快。