星期六上午十点,叶小刚带着燕子和陈莉莉曾宏民来到张哥家里,看到张市和韩主任国资委盛总已经等候在客厅里,急忙上前微笑伸手与张市韩主任盛总几人一一握手。张哥急忙招呼叶小刚和燕子等人坐下。
韩主任看到张市冲着自己微微点头后看向叶小刚笑道“我已经向张市汇报过了,张市对国兴机床公司出资单独研发很高兴。前几天我也去过国兴机床公司,几位教授对光刻机的研发也很有信心。相信不久的将来国兴机床一定能研发出处于领先国内的光刻机。”
盛总略显尴尬的笑道“叶老板,要不是市里实在拿不出钱来,我是真想继续投资进国兴机床。不过我也相信国兴机床有了叶老板的追加研发资金,明年一定能够研发成功。”
叶小刚愕然看着韩主任和盛总,停顿片刻后看向张市,面对着张市期盼的眼神不禁苦着脸重新看向韩主任和盛总二人“两们领导啊,我可没得罪过你们吧。给我挖这么大一个坑。”
张市眉头微皱看着张哥,张哥立刻疑惑问道“叶老弟是对研发光刻机没信心?你不是说过明年准备追加五十亿吗?”
叶小刚摇头长叹道“我们国家1965年中国科学院就研制出65型接触式光刻机。
1970年代,中国科学院开始研制计算机辅助光刻掩模工艺。.
1972年,武汉无线电元件三厂编写《光刻掩模版的制造》。
1977年,我国最早的光刻机-GK-3型半自动光刻机诞生,这也是一台接触式光刻机。
1978年,1445所在GK-3的基础上开发了GK-4,但还是没有摆脱接触式光刻机。
1980年,清华大学研制第四代分步式投影光刻机获得成功,光刻精度达到3微米,接近国际主流水平,只是成品率很低。
1981年,中国科学院半导体所研制成功JK-1型半自动接近式光刻机,也是一台样机,没有量产过产品。