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第455章 浸润式光刻机技术(1 / 2)

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一直沉默不语的林本坚突然说道:“杨总,光刻机的光源一直停滞在193纳米的波长,各大光刻机公司绞尽脑汁,也无法将波长缩短到157纳米,所以我想尝试游说光刻机厂家,另辟蹊径,转换设计理念,把传统的空气为介质的干式微影技术,改为浸润式光刻工艺……”

杨墨心头一动,几乎脱口而出道:“浸润式光刻工艺?”

林本坚连忙解释道:“杨总,浸入式光刻方案并非心血来潮,我在IBM工作期间,就着手研究过浸润式光刻工艺,我认为以目前的技术条件下,缩短波长的最佳方案就是由干式微影技术转向浸润式!”

“你这个浸润式光刻方案有没有理论支撑?”杨墨不动声色的问道。

林本坚信心十足的点点头说道:“有!把透镜和硅片之间的介质从空气换成水,由于水的折射率大约为1.4,那么波长可缩短为193纳米除以1.4,就可以一下子把波长缩短到132nm,大大超过一直攻克不了的157nm!”

“国际知名学术期刊有没有过这方面的论文?”杨墨继续问道。

“我自己发表过三篇这方面论文,不过收效甚微,没有得到光刻机厂家的重视!”林本坚有些沮丧的说道。

“那这个方案还跟其它光刻机公司提过吗?”杨墨呵呵笑道。

“杨总,不瞒您说,在来荷兰之前,我和尼康、东芝方面,就浸润式光刻方案沟通过,想让他们为世大半导体定做一台浸润式光刻机,不过对方兴趣不大……”林本坚苦笑道。

杨墨沉吟片刻之后,跟保镖说道:“小李,先靠边停车,我们休息会……”

“杨总,您是不是也觉得这事不靠谱?阿斯麦不会为我们定制浸润式光刻机?”林本坚神色瞬间黯淡下来。

杨墨微笑着说道:“林处长!您放心,只要您对浸润式光刻工艺有信心,即便阿斯麦不愿意为世大半导体定制,我也愿意为你们专门收购一家光刻机公司,来验证你们的想法!”

杨墨的话,让已近花甲之年的林本坚无比动容,有些感动的说道:“杨总,生产一台浸润式光刻机,不仅是收购一家光刻机公司,后续还要投入数以千万美元的研发费用,万一这条路走不通,会损失惨重!”

杨墨哈哈大笑道:“致远集团成立至今为止,研发失败的项目不计其数,但致远无论资金链怎么紧张,都没有延迟支付过一分钱的研发经费……”

杨墨这番话,让张汝京、蒋尚义、林本坚等人听的热血沸腾!

杨墨沉吟片刻之后突然说道:“林处长,把您这个浸润式光刻工艺,以世大半导体的名义申请专利,不管最终这个浸润式光刻工艺能不能研发成功,世大半导体都给你一笔丰厚的奖励,怎么样?”

“注册专利?还有丰厚的奖励?”林本坚有些不相信自己的耳朵,不由得看了张汝京一眼。

张汝京呵呵笑道:“林处长,杨总的话就代表公司的态度!”

就是一个简单的设计思路,白送给尼康人家都不感兴趣,林本坚马上点头答应了杨墨的提议。

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