换一种说法,就是工件台掩膜台系统,它所负责的部分,是在极紫外线光源发出之后,通过光学镜对硅晶圆光刻时的摆放平台。
因为对硅晶圆光刻的严谨性,曝光台的定位就极其的重要。
从掩膜的透光线路,到对准调焦,再到套刻精度,都离不开曝光台的工作。
“boss,关于工件台在高速高加速度下与高精度矛盾的问题,还有高动态与低发热的矛盾问题,我们小组从你之前给的几个大思路的基础上,找到了一种新的方法……
虽然其中遇到了不少困难,但是前不久,我们还是成功的解决这个问题。所以,我们想让你去看看,曝光台目前曝光台的进度。”
如果将潘星阳这段话简述一下,其实就是他们小组的工作取得了巨大的突破,想让林枝去看看。
他们小组,肯定是要比胥华他们那边更快一步。
“是吗?那这个进度不错诶!”
因为忙着研究N-S方程的事情,最近林枝都没怎么关注胥华和潘星阳他们的事情。没想到自己这一出来,潘星阳就给她这么一个惊喜。
若是按照他的说法,那他们那边的系统,也差不多就剩下调试了。
如果接下来依旧是现在这个进度,林枝觉得,再过不久,她应该就可以看到华智的第一台光刻机了。
事实也的确如潘星阳说的那样,曝光台的进度,接下来只需要进行后续的一些完善工作和调试,便可进入收尾阶段。
“boss,我们组的进度应该不错吧啊!”
在林枝面前展示完曝光台的实验,潘星阳立马便询问她的意见。
实验室内的其他人员,跟他也是一样的情况。
明亮的眼眸紧紧盯着林枝,像是上学时候拿了奖等待家长夸赞的学生。
“你们做得不错,比我预想中的速度还要快一些,等会儿我去跟你们傅总说,让他给你们这个月奖金翻倍。”
面对这一双双紧盯着自己的眼眸,林枝夸赞道。
总不能在这个时候,让他们的期待落了空。
原本只是想听一下大神夸赞他们的研究员们,听到奖金翻倍,眼神更亮了。
没想到,他们还能有意外收获。
……
此时研究所的另一处,胥华看着林枝跟着潘星阳离开,好看的眉眼微皱。
原本他跟着张天来找林学妹,跟潘学长的目的也是一样的。
准备让她去验收自己小组的实验进度,只不过自己找到她的时候,顾院士还在她身边,他也不好说。
后面的事情,便是潘星阳突然出现,并半路截走了林枝,胥华就更不好说出口了。
这让被潘星阳截胡的胥华有些郁闷,明明他们的研究进度,更快一些的。
不过这些胥华也没讲,只是在外头等着,等林枝一出来,就将她带到他们的研究小组。
至少不能让林学妹觉得,他们是三个小组里面进度最慢的。