“古川君？怎么了？”众人疑惑的看着他。 古川太智说道：“就在刚刚，神州科学院宣布，他们已经突破了极紫外光刻胶生产技术，将开始大规模制造和生产高端光刻胶！” “什么？”几大集团的代表猛的站了起来，“这可不是能开玩笑的事情！” “我没有开玩笑！”古川太智说道，“神州的几家光刻胶企业宣布，已经获得技术授权，立刻建造厂房，开始生产！” 众人见他语气焦急，不像是说假话，立刻查询资料。 很快，他们便看到了新闻消息。 “确认消息是真实的吗？”东京应化集团的代表打电话询问集团神州区域的总裁。 “是真实的，我们已经派人接触了，他们还专门展示了样品和相关数据！”对方回复道。 “怎么会这么快？”会场里，这些樱花光刻胶企业的代表们面面相觑，他们停货才一个月时间吧？ 一个月，他们的技术优势，产品垄断，就没了？ 就连青木大贵也懵了，要真是这样，他们岂不是搬起石头砸了自己的脚？ 他们刚刚退出神州市场，神州就有了自己的高端光刻胶，这不是白白把市场份额给让出去吗？世界上还有这么蠢的事情？ “八嘎！”JSR的代表怒骂道，“这可是一年百亿美金的市场，就因为愚蠢的协议，拱手让人了？” 青木大贵也不敢随便说话，这些跨国集团的能量也不小，他只能心虚的说道：“也许他们早就突破了这个技术，现在才公布而已。” “不！”古川太智愤怒道，“这完全是你们的愚蠢协议导致的！” “我得到消息，就因为这件事，神州调集了全国的专家，联合了上万家企业一起研发，所以进度才这么快！正常情况下，他们绝不可能这么快突破极紫外光刻胶技术！” 听到古川太智的话，其他代表纷纷对青木大贵怒目而视。他们用了几十年的时候，和灯国的企业竞争，好不容易奠定了光刻胶国际龙头的地位，没想到一个月之内，就被人赶超！ 这一切，都是那什么“全面合作”协议导致的！ “青木君，我们需要一个解释！”JSR的代表说道。 “我们的损失，是樱花国的管理者造成的！他必须拿出解决方案！”东京应化的代表说道。 “我们集团会发出抗议书的！”富士胶片的代表冷声说道，他们说的抗议，不是让员工上街抗议，而是在更高层级的级别博弈。 这些大资本和樱花岛管理方有着千丝万缕的联系，青木大贵背后冷汗直冒，他知道，自己这一派，已经得罪了一个大资本集团！ 到时候，肯定要有人背锅，平息他们的怒火，自己很可能成为背锅侠！ “为什么，这才一个月啊！”青木大贵心里在呐喊，这个技术突破再晚几个月，神州一定会让步的，可为什么会这么快？ …… 极紫外光刻胶的突破，代表了光刻机和芯片制造最关键的材料问题已经解决。 同时，卢建业的团队已经打磨出了极紫外光刻机所需要的“镜头”。这玩意在以前，也是花钱都买不到的产品之一，只有汉斯的蔡司公司才能制造，而现在，神州已经能自己制造了。 其他的高端零部件，也在同步制造中。 芯片设计上，反而比较简单。神州本来就能设计出高精密的芯片，只是没法制造出来。何星舟稍加改进，便完成了3纳米制程芯片的设计。 现在距离极紫外光刻机制造，以及3纳米制程芯片的生产，只剩下最后一个问题——极紫外光刀！ 何星舟来到了光电研究所，跟严蕊院士的团队一起研究。 激光研究室里，严蕊正在讲述他们遇到的问题：“我们现在是采用气体喷射的方式用激光轰击靶材料产生等离子体，等离子体发EUV辐射，EUV辐射经过由周期性多层薄膜反射镜组成的聚焦系统入射到反射掩模上．射出的EUV光波再通过反射镜组成的投影系统，将反射掩模上的集成电路的几何图形成像到硅片上的光刻胶中，从而形成集成电路所需要的光刻图形。” “理论上，这个过程没有问题。”何星舟点点头。 “但问题在于如何在提高EUV光源瓦数的同时，降低等离子气氛中微粒、高速粒子和其它污染物。”严蕊头疼道，“不然光源就会迅速恶化。还有，极紫外投影光刻系统使用了反射式掩模。” “我们的EUV掩膜缺陷仍高达ldefect／cm2，检测机台的制造水平也要得到进一步提升。” “检测机台的问题，我想卢教授那边的团队应该能解决。”何星舟说道，“至于极紫外光源的问题，我想到了一个解决方案。” “什么方案？”这群院士和专家们都看着他。 何星舟说道：“光源瓦数的提升，可以用电能！” “在高功率激光加热负载体形成等离子体并且多次反射后，形成了极紫外光源，这个时候，再设计一个放电反应室，让等离子体进一步转化，辐射出亮度更高，更纯净的极紫外线，如果还有多层反射镜，EVU的纳米刻度会进一步提升，就有可能满足3纳米制程的要求！” 其实这就是解决方案，只不过何星舟说的委婉了一点。 “这样做我们也设想过！”严蕊似乎有点想法了，她问道：“这个电能反应室……” “我有设计图！”何星舟说道。 “真的？！”众人听到他这么说，精神为之一振，赶紧说道：“让我们看看！” “去会议室！”何星舟笑道。 众人一起前往会议室，何星舟呼唤鹿米，让她打开设计图纸，并且进行讲解。 当他讲完，全场鸦雀无声。每个人都在思考和计算。 足足过了十分钟，严蕊第一个站起来，满心欢喜的说道：“可以！我初步计算，这个方案完全有可能做到我们要求的高亮度极紫外光源！” “对，我的看法也是一样！”有一位老院士站起来，他兴奋道：“这个放电反应室，真是神来之笔！光源折射损耗后，电能将等离子转化，形成新的高能等离子体，不仅没有光污染，还让极紫外线的纯净度进一步提升，这样做出来的光刀，只怕能达到世界之最！” “何总工，你真是个天才，这样的方案也能想到！” “那还等什么，我们赶紧去试试吧！”专家们都忍不住了。 “这就开始！”何星舟笑道，他知道，这次尝试必定成功！这可是自己解锁光刻机技术后，思考和计算了一个多月，才完成的设计！ …… 灯国，“复仇者联盟”正在召开大会。 这可不是动漫和电影里的复仇者联盟，而是由白鹰领头，组建的EUV光刻机技术联盟。 由英特尔、AMD、摩托罗拉和IBM等业界巨头，加上隶属于白鹰的桑迪亚国家实验室和劳伦斯利弗莫尔国家实验室组成！ 除了白鹰有一个，西方联盟也有一个类似的，由三十多个国家，数百个企业组成，全部都是光刻机及芯片的相关产业。 风车国的阿斯麦公司能生产出世界上最顶级的极紫外光刻机，就是因为获得了他们的支持！ 眼下，因为那“全面合作”协议，白鹰的EUV联盟和西方联盟的EUV联盟开始合作，共同讨论“合作细节”。 联盟会长福斯特坐在首席，他是白鹰统领不久前刚任命的，其风格做派要比上一任强硬许多！ 与会的成员，全都是来自国际巨头的代表！可以说，他们这些公司，就代表了全世界最顶级的光刻机、芯片技术！ “樱花那边向我们提交建议，说极紫外光刻胶技术已经被神州攻克，希望开放极紫外光刻胶市场！”福斯特慢条斯理的说道，“大家有什么意见？” “不能开放！”第一个发言的代表就表示反对，他是来自陶氏集团的代表莫尔顿，同样是世界排名前五的光刻胶企业。 他义正言辞的说道：“既然我们达成了合作协议，就要共同进退。今天开放一个光刻胶，明天又会有人说要开光刻机透射镜头、后天又会有人说开放光刻机轴承，这样下去，我们的合作协议岂不是一纸空文？” “莫尔顿先生说的不错。”立刻就有成员支持他的观点，说道：“光刻机和芯片制造技术，必须牢牢掌控在我们手中，一个口子也不能打开！” “再者，神州的极紫外光刻胶到底是实验室产品，还是能量产，现在都没有定论。万一这是他们布置的骗局，我们就上当了！” 莫尔顿的意见得到了一致的支持，福斯特点头道：“既然这样，就维持我们的现有措施。” 其实对于EUV联盟来说，他们跟樱花并不是一条战线，当初这个联盟成立之初，就是为了针对樱花的半导体行业。 所以樱花的相关行业生死，他们根本不在乎！ “关于神州半导体行业的动向，大家应该也都知道了。”福斯特进入下一个议案。 “他们同样成立了一个组织，联合研发光刻机，想要赶超我们！” 提到这个，阿斯麦光刻公司的代表海默不屑道：“他们十年之内，是不可能赶超我们！” “我可以这样说，就算是我们把极紫外光刻机的设计图交给他们，东方人也制造不出来！” “这是全世界最顶尖的工业技术，他们还差得远了！” 海默说完，在座的代表们都笑起来，脸上还带着倨傲的神色，很多人的想法跟他一样。 也有人提醒道：“我们不能放松警惕，过去一年，他们已经突破了许多技术！” 提到这一点，福斯特脸色冷下来，强调道：“诸位，为什么他们的技术突破那么快？” “我们怀疑，可能有一些成员不遵守规定，泄露了技术资料！” “所以从今天开始，所有成员之间的高端设备和技术转移，都要提交给联盟审核，禁制私下交易！” 之前就有审核，这次是加大力度，保证不会出现技术泄密。 对于这一点，所有成员一致赞同，只有技术垄断，才能让他们源源不断的赚大钱！ 又有高通公司的代表提问道：“我们现在不在东方出售高端芯片，对我们的公司损害极大，我们到底什么时候能开发出售？” “是啊，我们的计算机芯片市场也受到了严重影响！”英特尔、IBM和AMD等公司的代表也坐不住了。 福斯特示意众人安静，说道：“这也是今天我们在这里开会的原因。” “会议之前，我已经跟阿斯麦公司交流过了，他们正在设计3纳米制程的新一代极紫外光刻机。” “我们需要合作起来，帮助他们尽早拿出成熟的3纳米制程技术的光刻机和更高级的光刻机，我们的芯片技术提升一级，就能开放一级的芯片。” “而且最近东方的压力很大，他们很快就会做出让步，大家将获得的，比现在损失的更多！” 众人互相交流，发表意见，最终，初步达成了一致，这么多企业和机构再次联手，帮助阿斯麦突破更高级的光刻机技术。 阿斯麦公司的代表海默更是兴奋的在会议上表示：“两年之内，有各位的帮助，一年之内，我们保证交付成熟的，拥有3纳米制程技术的新一代极紫外光刻机！” “好！”福斯特非常高兴，这样一来，他也能跟上面交差了。 而且一上任，就做出这么大的成绩，前途无量啊！ 他对海默祝愿道：“希望你们能早日完成目标，EUV联盟，是你们最强大的后盾！” 他心中暗想，等那个时候，那些东方人，一定会感受到绝望吧！ …… 在EVU联盟会议落幕时，神州，西北光电技术研究所。 何星舟、严蕊等人正在测试他们的极紫外光源。 他之前设计的放电反应室已经被制造出来，与激光发射器进行链接，中间还有各种反射镜头，组成了极紫外光光刀生成器。 “第一次测试，发射激光！”实验室里，严蕊仔细的看着仪器，下达实验命令。