第84章现在就拆给你看！ 光刻作为芯片制造流程中最关键的环节，其基本原理其实很简单，就是用光，来完成对硅片的雕刻。 光刻中的硅片，就像是挂在墙上的投影布，而光刻机则是投影仪， 如果投影布表面不平整，出现起伏，那投影的画面自然就会扭曲变形。 在光刻中，硅片的表面瑕疵，则会导致投影上去的电路设计路变形，从而导致良率降低，甚至整张晶圆报废。 所以想要得到一张能用来制造芯片的硅片，则需要把切割后的单晶硅片进行抛光打磨，直至它的表面平整度低于1.5nmRMS。 这相当于在电影院挂上一块大幕布，它的表面起伏不能超过一根头发丝大小，无限接近于完美的镜面。 因此，这对硅片制造抛光工艺要求，自然就显得极其重要了。 从圆珠笔头上的小钢珠，到芯片的原材料硅片，再到光刻机上的镜片，最后甚至是科幻小说三体中表面完美无暇的水滴…… 其实考验一个文明工业水平高度的，就是看你能把一个物品造得有多精细。 而造精细的东西，自然就需要空气干净的洁净室，不然空气中全是灰尘细菌，再怎么打磨造不出合格的硅片。 “其实这些年我们通过仿制岛国的设备，已经可以达到2.6nmRMS的平整度了，但无论我们再怎么检查，哪怕每一个零件都已经达标了，但依然没办法继续突破……” 严辉穿一边穿着防护服，一边向康驰介绍着他们的研究进度。 “抛到2.6nmRMS用的是什么抛光液？” “以SiO2为基础，加入0-70wt%的双氧水，最后用KOH调节pH到8.5。” 康驰点了点头：“先看看再说吧。” 两人穿好防护服后，很快就来到了抛光实验室，然后由严辉主持，向康驰演示了一次抛光实验。 在传统的硅片抛光打磨中，通常会先用机械抛光机，对硅片进行初步打磨，再清洗，最后进行化学机械抛光，也称为精磨。 精磨是一种利用抛光液的化学腐蚀功能，配合机械转盘的机械打磨，两者互相配合来达到硅片的工艺标准。 实验的结果是3.1nmRMS，比他们能做的极限还差不少。 康驰沉思了片刻，然后说道：“换成30wt%Al2O3基液，加65wt%高锰酸钾作为化学抛光液，用5wt%HNO3调成8.0的PH值再试一遍。” 严辉点了点头，带着研究员们调配好抛光液，然后重新进行了一次实验。 “平整度5.9nmRMS。” 看到这个结果，原本还有点小期待的严辉，不由露出一抹失望的神色。 但康驰却依然不为所动，又报出了一组抛光液配比，让他们重新进行第三次实验。 “平整度5.9nmRMS。” 5.9？ 还是5.9？！ 是巧合吗？ 虽然5.9显然是远远不达标的，但严辉却似乎意识到了什么，有些惊讶地转头看向康驰。 “你……计算好的？” “算是吧。” 康驰点了点头。 这下严辉彻底呆住了， 要知道，化学机械抛光的技术难点，除了抛光设备的硬件要达标之外，还要根据设备性能、硅片参数，来调配化学抛光液，以达到化学抛光和机械抛光的完美配合。 要想调试得好，首先就需要对设备了如指掌，其次这是丰富的抛光液调配经验。 但康驰仅仅只是通过一次实验演示，就能看似轻松地报出两组不同成分的抛光液，并在后续的实验中，达到同一数值的平整度…… 这多少有点匪夷所思了吧？ 哪怕是已经参与过无数次测试的严辉，在没有经过计算机模拟的情况下，也绝对做不到如此精准的控制， 估计误差至少得有个0.3nmRMS。 他有些难以置信地问道：“你到底是怎么做到的？” “嗯，我也说不上来……可能是某种直觉吧，我这人对机械的东西，敏感度还挺高的。” 康驰思索了片刻，又接着说道， “我估计伱这台抛光机，能稳定发挥的正常水平，应该就是3.0nmRMS左右，2.6nmRMS只是你们因为偶然因素才意外达到的，肯定不会超过三次。” 严辉再次愣了愣，显然是被康驰猜中了。 “确实，只有一次……” 康驰本来还想说点什么，结果肚子都已经饿得咕咕叫了， 看了看时间，发现三轮实验过后，竟然已经不知不觉都到了晚上八点。 “不好意思，一个没注意都这这么晚了……大家赶紧收拾收拾，先去吃饭吧，今天辛苦你们了。” “嗯。”严辉点了点头道，“那大家吃完饭，九点再回来继续。” “回来继续？”康驰不由露出了奇怪的表情，“继续干嘛？” “做实验啊。” “没用的，这根本不是抛光液的比例问题，你们这是在做无用功。”康驰直接摇头道，“吃完饭早点回家洗洗睡吧，明天我们再过来把抛光机拆了，如果我没猜错的话，是你们的设备安装有问题。” 听到康驰竟然已经猜到问题所在，严辉顿时有些激动：“不用等明天，我们现在就可以把它抬出去拆给你看！” 康驰白了严辉一眼：“我饿了，也累了。” “……” 严辉不由尬住了。 “咳咳……抱歉，我忘了你今天才刚从钢城赶过来。” “就是没从钢城赶过来，这个点也该吃饭休息了，你们也是，以后能不加班就别加班，虽然时间紧迫，但我们工作也要讲究效率，而不是一味地堆时间，你都把人整晕了，还搞什么研究？” “……” 等收拾完实验室，脱掉防护服来到公司食堂的时候，已经是晚上九点了， 因为硅片生产部门是24小时不停工，加上研发制造中心的科研狗经常通宵加班，所以公司的食堂也是24小时供应的那种，随时来都有吃。 食堂打饭的阿姨看到严辉后，态度相当热情，往他饭盘里打的菜都更多。 康驰忍不住，多看了那阿姨一眼， 嗯…… 虽然年纪稍微大了点，但勉强也算得上风韵犹存。 “咳咳，你别多想。”严辉看到康驰的复杂表情，连忙轻咳道，“她要是知道你就是大老板，估计打得更多……” “我什么都没说，你紧张什么？” 严辉：“……” …… 吃完饭后，康驰便通过电话，联系上了公司的行政主管，然后在他的带领下，和陈海一起来到了公司帮他提前准备好的房子。 这是一栋双层别墅，五室两厅，相当别致。 就是一个人住，显得空旷冷清了点。 嗯， 陈海把康驰送到家后，就不知道跑哪去了，估计在隔壁栋？ 康驰也没有邀请他和自己一起住， 不然两个大男人同一屋檐， 成何体统！？