第48章传说中的一微米制程 “用计算机来设计芯片？” 季红波还是第一次听到这个说法，他看向赵国庆，问到：“你的意思，是不是用CAD制图，将芯片图纸画出来，然后连接打印机，用激光打印掩膜版的技术？” 赵国庆摇摇头，说：“这只是其中一部分，很小的一部分！” 传统的CAD软件只是一种辅助作图的工具，而EDA则不一样了，图形背后具有深刻的物理定义，设计的电路具有仿真和进行各种分析的条件。 “……” “卡弗尔·米德（CarverMead）和琳·康维于四年前发表的论文《超大规模集成电路系统导论》（IntroductiontoVLSISystems），提出了通过编程语言来进行芯片设计的新思想。如果这一想法得到实现，芯片设计的复杂程度可以得到显着提升，事实上，国外在这方面的研究，已经很深入了。” “今年三月，设计自动化会议（DesignAutomationConference）上还举办了第一个以电子设计自动化为主题的销售展览，《半导体先驱报》上，用三个整版进行了报道，季教授，你没看吗？” “……” 季红波说不出话来，还真没看，在个毛头小伙子面前，有点丢人，回去得找找。 “小赵啊，你这些知识都是你自己查的吗，对了，我知道你是西电的，你导师是谁？” 导师?本科生有导师吗？ “田教授他们都给我上过课！” “田向荣？” 赵国庆点点头。 季红波轻叹一口气，田向荣有几把刷子他还不清楚，怎么教出赵国庆这个怪类。 若是氮化镓场效应管验证可行的话，那华国科学界可要地震啰。 对了，还有这个计算机辅助设计，年轻人的思路他有些跟不上。 吱呀一声，高昌明推开门。 “刘主任开的批条好了，我们可以走了！我叫了一辆车，等会到外面吃个早饭，然后直接去清大。” 中航的这个研究基地也是保密的，正常情况下，一个小纸条都不允许带出去，出门也是要搜身的。 找到一处国营饭店，一人一碗牛肉面，满满的一碗，上面一大块牛肉，价格也不便宜，一块钱一碗。 “今天我请客，你们要是到金陵的话，也要找我，我带你们吃盐水鸭、狮子头！” 季红波爽快的掏出一张十元钱，递给服务员的时候还不忘让人家开个收据。 “国庆，中电14所在金陵，季教授也在清大上课，两头跑！” “对了季教授，国庆也是你们苏省的！” “这么巧，国庆，你是苏省哪里的？” “洪泽！” “好地方啊，水很多，那国庆，说好了啊，到金陵要找我。” “好！” 吃完早饭，驱车到了清大微电子研究中心。 微电子研究中心副主任苟明光，副教授何振华早就在外面等着了。 “季教授，高所长，国庆同志，欢迎你们啊！” 连带着赵国庆也跟着握了握手。 何振华教授没有像上次一样冷冷的，他是当时人，知道发光半导体的事。 “国庆，你上次提供的设计理论大概通过了验证，我们发现掺杂、外延层厚度越是接近设计要求，光效越高……” 季红波看赵国庆跟何振华说话，转过头就问：“你们认识?” 赵国庆笑了笑：“上次多亏何教授帮忙！” 何振华也跟着笑了笑，这事功劳归到科院了，国家也这么对外通报的，虽然季红波的级别也不低，但也是要保密的。 季红波见他们不说也没有多问。 到了会议室，直接开干。 赵国庆拿出图纸，递给何振华，何振华也就看了一眼，直接说：“这个简单，可以做，今天就能做好！” 不熟悉的人或许不知道，赵国庆清楚。 事实上，也就是三极管类似结构，VMOS场效应晶体管，类型有两种PNP结构和NPN结构，与发光半导体相比，不需要在真空条件下用镁原子蒸馏，再用电子轰击镁原子掺杂，再用氮化镓外延层来做P级。 这次直接以氮化镓晶体为N级，以高纯硅中掺杂磷为P级材料，不需要漫长难以检测的镁原子蒸馏，也不需要电子枪轰击。 赵国庆忽然想到一个问题。 “何教授，这晶体管，是怎么封装的？” “用的进口的环氧树脂，工艺比较简单，质量也不错。” 赵国庆眉头微皱，晶体管可以用环氧树脂封装，但芯片用可不合适了，这玩意发热啊，他又问：“那芯片切割用的什么工艺？” 何教授说：“日本尼康公司进口的自动锯条切割机，切割之前，先挂上进口的保护胶，最后再化学清洗一下就可以了！” 赵国庆又要问，何振华笑道：“国庆，这样吧，等会做的时候你跟着进去看看，有什么要问的，到时候再问。” 能进去了，赵国庆点点头，清大微电子研究所算是国家最先进的芯片制造研究的前沿阵地了。 季红波站了起来，说：“行，那就这样，我去一下总参，国庆，你要不要跟我一起去。” 赵国庆摇摇头，总参的门往哪边开他都不知道。 “季教授，稍等一下，图纸我还要用一下。” “何教授，麻烦你也稍等一下啊！” 赵国庆走出办公室，快速下楼，到车里，将雷达辅助计算芯片的图纸拿了上来，在桌子上展开。 “何教授，你看看这个芯片清大能不能做？” 季红波也有这个疑问，紧紧看着何振华教授。 何振华看了看图纸，抬头看向赵国庆。 “是你画的？” “何教授，你不管谁画的，能不能做吧！” “能做，但制程做不到三微米！” 轮到赵国庆疑惑了。 “三年前的报纸我都看了，清大微电子研究所制造出一微米制程的光刻机，而且门口宣传栏上也这么介绍的，这一微米做得了，怎么三微米做不了？” “……” “光刻机确实精度能达到，但是芯片不是光刻机能达到一微米制程，就能造一微米制程的芯片的，国庆，你可能不了解！” “……” 这忙个事，还要给你们提升一下芯片制造工艺？ 赵国庆收罗记忆中有限的关于芯片制造的知识，也不知道能不能帮上忙。 “现在能达到什么制程？” “最高五微米，不保证质量，七微米工艺算是比较成熟！” “什么叫算是比较成熟？” “良品率能达到一半！” 呼！ 赵国庆也不知道说什么了，良品率一半，也就搞搞军用，要是商用的话，裤衩都亏的没影了。