明天就刚好一个礼拜,但是光刻机的工作台直到现在还没能够组装完成。
如果说光源和镜头是光刻机的核心,那么工作台就是光刻机核心中的核心。
因为工作台一般都是双工作台,一个测量,一个曝光。
举个简单的例子,双工作台类似于一个八卦的阴阳面。阴面做曝光时,阳面就做测试。
阴面曝光完成后,八卦旋转,阴面又开始做测试,阳面上测试完成晶片进入下一道工序,阳面开始做曝光。
如此往复,效率大大提升。
但也正因为是双工作台,他的精确度必须达到纳米级别。相当于要在足球那么大的地方,将头发丝排列整齐,误差不能超过头发丝的直径。
工作台不仅涉及到精密的技术,还涉及到很多经验参数,这些参数的误差范围都是纳米级别的。每一个微小的差别都是差之毫厘,谬之千里。
没有足够的经验,很难做到百分之百的精确。
李元伟是一个四十岁左右的中年人,之前一直在国外的一家半导体小公司做技术研发,一个月前,他突然觉得应该回国效力。
便在此时,收到了应星微电子的面试通知,两天后他便到了这里,并且直接参与最核心的光刻机组装工作。
李元伟看着图纸,道:“这里的这个螺丝钉的拧紧力矩不能超过负四,要不会导致负二的公差。”
他所说的负四负二都是十的平方数。
不过在场的各位都是大牛,而且都有了相关的天赋加成,因而一听就明白了。
王芯道:“那就赶紧操作,机械臂的参数重新设置下。大家都细心点,有点耐心,不要操之过急。”
随后,一台精密的电脑控制的机械臂被推了过来,说是机械臂,其实不过是一根圆珠笔的十分之一还不到的小螺丝刀。
通过影像放大设备,机械臂开始操作拧紧螺丝的动作。
就在安装工作台不远的地方,则是另一波人正在调整光刻机反射透镜的角度。
极紫外光源发射器发出的光并不是均匀分布的,因此需要通过光束矫正器,能量控制器对激光器发射出的光束进行调整。
随后光束通过光束形状装置,形成能量分布均匀的光束照射到掩膜板上。
掩膜板可以理解成是洗照片时,放胶片的一个装置。
掩膜板将纳米级别的图像进行放大,最后再通过物镜照射到曝光台上,也就是工作台之一。
这些人的工作难度也并不轻松。
不过,这些人却都是一副胸有成竹的模样,都在繁忙的调整着各项参数。
就在这样的紧张氛围中,天光渐渐放亮...