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第116章 对光源系统的改进(2 / 2)

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实在不行,也就是耽误几天生产的事儿,大不了之后再改回来就是了,也不费多大的功夫。

如果不是郭一露了一手在先,人还没到就把28nm的工艺升级成14nm了,那今天再让这些工程们做今天这样的事情,所有人都会质疑,甚至是会反对的。

但现在,他们虽然都发现了端倪,但经过郭一确认后,他们都没再吱声。

老老实实的按照郭一的方案改造着,一边改造,还一边在思考,这其中究竟有没有什么特别的用意?我究竟有没有哪个地方疏忽还是漏掉了?

这就是权威的作用,只露了一手的郭一,现在在这些工程师眼里,那已经成了权威。

废话,全世界没人能做到的事情,人家没露面就做到了,这还不是权威,那什么才是权威?

何兴瞅了瞅常凯,心里有些不安:难道这家伙已经看懂这些改造的端倪了?他怎么就这么淡定?这么从容?

芯片生产工艺本身就是一个极为复杂的过程,牵一发而动全身,考虑不周的情况实在是不罕见。

确实会存在某个步骤误差比较大,却是故意而为的情况。

其目的就是为了冲抵另一个过程造成的误差,这是一种冲抵矫正方案。

完成了自己的工作之后,何兴又仔细的研究了一遍整体的方案,还是没有发现任何的端倪。

在现有的光刻机条件下,这样的改造确实提升不了生产工艺和良率,反倒会增加曝光后图形的偏差。

“等等!现有的光刻机条件?”何兴突然意识到了什么:“郭工现在可是不在啊,他干什么去了?莫非……”

一个大胆的念头从何兴的脑海里冒了出来:那就是升级光刻机!

升级硬件当然是不可能的,但升级软件……

“光学临近效应引起的图像偏差问题!”何兴立即意识到问题的关键所在。

他一直在A1厂,这台光刻机他可以说是了如指掌,光刻机的控制程序确实有可以升级的空间,他们一直也跟厂家有反馈。

但,那都是小打小闹似的升级。

“如果,彻底改造控制程序,进一步修正193nm极限工艺下的邻近效应导致的曝光图像偏差问题……”

何兴脑洞大开,有了这样的想法,即便知道没什么可能,他还是立即对这个方案进行了计算验证。

不计算还好,这一计算,何兴是直接被惊到了——郭一的改造方案竟然真的是照着这个思路再走!

换言之,郭一的改造方案就是这个!

“他竟然真的能够进一步改进光学邻近效应引起的图像偏差?”

看着最终的计算的数据竟然如此吻合,何兴也是直接瘫在了椅子上:

“他也不是生产光刻机的专家啊,这可能吗这?这要让魔都微电子知道了,他们不得疯掉啊!这哪是改进生产工艺啊,这直接是改造光刻机了都!”

即便何兴不是光刻机的专业人士,他也知道光刻机最大的两个核心部件,一个就是镜头,另一个就是光源。

光源最核心的问题,其实就是修正这个光学临近效应引起的图像偏差。

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